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中国e世博官网集团旗下七一八所所属派瑞特气公司,近日荣获中国工业气体工业协会评选的“十三五”中国气体行业分行业电子气体10强、“十三五”中国气体行业50强企业荣誉称号,以及2021年气体行业专利奖金奖。
助力战略性新兴产业发展
高纯特种电子气体是整个电子工业体系的关键材料之一,主要应用于电子信息产业中集成电路制造、液晶显示器、太阳能电池等领域的芯片制程、化学气相沉积、刻蚀、掺杂和清洗等。
“十三五”期间,派瑞特气公司以“服务国家战略”为己任,以研究、开发和生产特种电子气体为主导,攻克了多项关键工艺技术,生产的29种电子特气新材料产品广泛应用于电子信息领域,其中三氟化氮、六氟化钨国内市场覆盖率达到95%上,拥有授权发明专利43项,申请发明专利150余项,填补了国内多项技术空白,有力保障国家战略性新兴产业安全。
创新驱动突破关键技术壁垒
这次荣获2021年气体行业专利奖金奖的是派瑞特气公司的发明专利“一种制备氟化氢的方法及装置”。
该专利技术突破了高纯氟化氢制备的关键技术难题,解决了传统方法制备氟化氢含有大量难分离杂质的问题,能够高效合成高纯度氟化氢原料,同时可制备纯度大于99.999%的高纯氟化氢,一举打破国外技术垄断。
此次获奖,是派瑞特气公司继2020年“一种制备三氟化氮气体的装置及应用”专利获评发明专利金奖后,连续第2年获得该项荣誉。
中国工业气体工业协会是中国气体行业唯一具有权威性的行业组织。
| 来 源:七一八所
| 责 编:邝展婷
| 校 对:王 琦
| 审 核:项 丽/甘丰录